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싱글벙글 의외로 러시아도 개발 성공한 반도체 제조 장비
러시아 최초 350nm EUV 극자외선 노광기 ASML에서 주도하는 그거 맞음 350nm라서 고성능 칩 제조에 활용은 무리가 있지만, 차량용 반도체 등 레거시 산업에서 유용하게 활용될 것으로 보임 아무리 러시아 망했다 망했다 해도 소련시절부터 쌓아온 연구 인프라는 무시 못하는 듯 한국에서는 삼성에서 예전에 노광기 만들어보려고 시도하다가 IMF로 나가리 되고 이후로 기술 밀려서 ASML 장비 사다가 제품 찍어내는 쪽으로 노선 틀었고, 국산 EUV 관련 소모품 제조 시도는 에스엔에스텍에서 EUV용 검사장비와 블랭크 마스크 개발 동진쌔미캠에서 EUV용 PR (포토 레지스트, 노광시 패터닝을 위해 필요한 액체) 개발, 국산화 FST에서 EUV용 펠리클 (MASK 보호용 필름)과 자동화 부착 장치 등을 개발했음. 이외로는 한국 전자통신연구원 ETRI에서 리쏘그래피, 광원, 광학, 코팅 등 EUV 기술 기초 응용 연구를 수행중이며, EUV 국산화를 위해 노력하고 있긴 하지만 EUV 기술 자체가 너무 어렵고 거대해서 난이도가 있는 과제라고 함. 다시말해 아직 국내에서 Full 스케일의 EUV 장비는 없고, 개발 시도도 제한적인 부분. 그래서 지금 중국이 이악물고 만들라고 하는게 EUV인데, 얼마 전 중국에서 개발 성공 선언한 중국산 EUV가 65nm짜리임 러시아가 개발해낸게 350nm인걸 감안하면 어마어마한 발전인 셈. 근데 이마저도 ASML 20년 전 기술 수준이라고 평가받는 중 그래서 중국은 관련 기술 특허도 열심히 내고 앞으로 국가 주도로 돈 더 써서 유럽 따라잡겠다고 선언이게 ASML 노광기인데 빛을 여러번 반사시켜 노광하는 미친 스케일을 보여줌 무려 3nm - dc official App
작성자 : Vansasa고정닉
