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TEL 저온식각이 왜 혁명이냐면 (갑자기 초혁신 터졌다는 반도체업계 근황) 저온식각 일명 cryo etching은 201X년대부터 낸드 기술이 2D 한계에 봉착했을 때 꿈의 기술로 각광받았음그런데 일단 초저온 가스인 액화질소나 산소가 비싸고 공정 컨트롤의 난이도(극저온 칠러비용, 가스혼합비 등) 때문에 다들 개발에 성공하지 못했음그 와중에 TEL이 이번에 해당기술 개발에 성공해서 들고나온건데저온식각이 얼마나 쩌는지 알아보자식각 효율을 나타내는 숫자인 Etch Rate(줄여서 E/R)라는게 있음E/R = 식각 깊이(Å)/공정 시간(m)이라 얼마나 깊이 빠르게 식각을 쳐내느냐를 나타내는 E/R은 쓰루풋이 중요한 반도체 공정에서 중요한 숫자임왼쪽 파이차트: 일반 플라즈마 식각 가스 혼합비중간 파이차트: 연구단계의 저온식각 가스 혼합비 (1세대 저온식각)오른쪽 파이차트: TEL에서 완성한 저온식각 공정 장비 가스혼합비일반적인 식각보다 중간으로 가면 E/R이 2배가 되는데TEL은 중간과정보다 E/R 2배의 개쩌는 공정을 개발해냄E/R이 4배라는 말은 이론적으로 일반 낸드식각 공정보다 최대 4배로 빠르게 같은 깊이를 식각할 수 있다 or 같은 시간에 4배 더 깊이 식각 할 수 있다는 의미실제로는 식각 속도는 기존 공정보다 두배 빠르고 식각 깊이를 25% 더 깊게 에칭할 수 있다 하더라TEL의 주장에 따르면 10um 에칭하는데 33분이 소요되었으며 84% 탄소발자국 감소효과가 있었다고 함통상적인 플라즈마 공정은 7-8um 에칭하는데 1시간 남짓 걸림그림으로 보자면낸드가 이렇게 생겼는데 채널이 더 깊고 빨리 파짐 -> 낸드 단수 높히는데 예전에는 플라즈마 써서 고단화에 애 먹었는데 고단화 비교적 난이도 내려갈 예정TEL 자료 10um 뚫은 인증 + 깨끗하게 뚫린 바닥 사진 + 기술 세부자료불화수소 메인이라 탄소가스 사용절감으로 인한 ESG 점수는 덤결국 쓰루풋 포함 생산성 방면에서 저온식각이 고단 낸드 적층시 플라즈마 식각 대비 우위를 점하고 있기 때문에 현재 낸드식각 주류인 플라즈마 식각장비가 메인인 램리서치나 어플라이드는 TEL에게 고적층 낸드로 갈수록 마켓쉐어 많이 내줄 수 밖에 없다고 생각함. 좀더 자세한 이야기는 이 분이 글 잘 써놨더라https://blog.naver.com/timesight/223163209160 극저온 식각(Etching)의 도입 : NAND 식각 시장에서 가져올 큰 변화극저온 식각 장비의 개발 도쿄일렉트론은 23.06.09에 극저온 식각 장비를 공식적으로 발표하였습니다. &quo...blog.naver.com 작성자 : 방자_올돌골고정닉

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미짱 모듬.JPG

개허접노포모솔갤로그로 이동합니다. 2024.04.28 21:29:39
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	                						고정닉
	            						
										0
									

								

								
							

																					

															
								

									
0

								

							

														

																					

																								
																								
								
							

						

						
							                

                    
                    					
										
										

                                        

	
					
										
					

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	경제관념 부족해서 돈 막 쓸 것 같은 스타는?
		  
	운영자
	24/05/13
	-
	-


									
																		

										1985440
																														
																																			
																								나 돈을 못 모으는 성격인것 같음.
																								
																																												 
											[19]																					
										
											arubyyy갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										109
										0
									

																		

										1985439
																														
																																			
																								해군대장이 아직 루피한테 질리없다
																								
																																												 
																																
										
											사이타마미캉갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										32
										0
									

																		

										1985438
																														
																																			
																								역시우울할땐햄버거지
																								
																																												 
											[2]																					
										
											가라라굿나잇갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										35
										1
									

																		

										1985437
																														
																																			
																								대회 투표할때마다 말하는 거지만
																								
																																												 
											[2]																					
										
											섬광의모모해갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										64
										0
									

																		

										1985436
																														
																																			
																								이번 대회 실망함
																								
																																												 
											[1]																					
										
											양송이갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										76
										0
									

																		

										1985435
																														
																																			
																								아씨발술또마시면내가 개다 개
																								
																																												 
											[6]																					
										
											모란모란갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										58
										0
									

																		

										1985434
																														
																																			
																								뭐야 득표수 개많아
																								
																																		
																																	 
											[7]																					
										
											내국아톨갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										91
										0
									

																		

										1985433
																														
																																			
																								공휴일 음란 커메짤
																								
																																												 
											[13]																					
										
											Resin갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										259
										7
									

																		

										1985432
																														
																																			
																								디아 시즌4 오랜만에 했다
																								
																																												 
											[2]																					
										
											내국아톨갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										32
										0
									

																		

										1985431
																														
																																			
																								이럴수가 내가....휴일이....
																								
																																												 
											[4]																					
										
											내국아톨갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										56
										0
									

																		

										1985430
																														
																																			
																								퇴근길에 어울리는 음료는 역시 몬스터
																								
																																												 
											[4]																					
										
											유자향안락갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										46
										0
									

																		

										1985429
																														
																																			
																								세리자와 또 아이브에 환장하는
																								
																																												 
																																
										
											ㅇㅇ(221.139)																					
										05.15
										49
										0
									

																		

										1985428
																														
																																			
																								내가그림을좆같이못그린건맞지만
																								
																																												 
											[14]																					
										
											가라라굿나잇갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										133
										1
									

																		

										1985427
																														
																																			
																								하이큐 극장가서 볼까??
																								
																																												 
											[2]																					
										
											에이미남편갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										37
										0
									

																		

										1985426
																														
																																			
																								“귀멸의 칼날” 신작 애니 보는데 상당히 힘듬.
																								
																																												 
											[17]																					
										
											arubyyy갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										124
										0
									

																		

										1985425
																														
																																			
																								아니 도나츠를 먹었는데
																								
																																												 
											[2]																					
										
											Foxtrot갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										50
										0
									

																		

										1985424
																														
																																			
																								도나츠 도나츠~
																								
																																												 
											[12]																					
										
											Foxtrot갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										84
										0
									

																		

										1985423
																														
																																			
																								나 모텔왔어
																								
																																												 
											[5]																					
										
											개허접노포모솔갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										77
										1
									

																		

										1985422
																														
																																			
																								두표나 받다니
																								
																																												 
											[7]																					
										
											유메고독사갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										68
										2
									

																		

										1985421
																														
																																			
																								픞갤러가 치질걸려서 병원갔는데 의사도 픞갤러면 어캄ㄷㄷㄷㄷ
																								
																																												 
											[2]																					
										
											분노의밀키갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										63
										1
									

																		

										1985420
																														
																																			
																								라이브에서 냄져들끼리 비빈거 뭐뭐있지
																								
																																												 
																																
										
											민경갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										32
										0
									

																		

										1985419
																														
																																			
																								붕괴스타레일은 과금해야하는 겜인가?
																								
																																												 
											[4]																					
										
											사이타마미캉갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										46
										0
									

																		

										1985418
																														
																																			
																								나는 왜 조센징으로 태어난건가
																								
																																												 
											[2]																					
										
											민경갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										50
										1
									

																		

										1985417
																														
																																			
																								이지 두 댄스 라이브는 정말 전설이다
																								
																																												 
											[1]																					
										
											논국갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										63
										0
									

																		

										1985416
																														
																																			
																								개좆롤 8시쯤에 하자더니 지금 초대왔어
																								
																																												 
											[1]																					
										
											모아씹갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										50
										0
									

																		

										1985415
																														
																																			
																								사람팔찌르기 성공
																								
																																												 
											[12]																					
										
											유자향안락갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										114
										0
									

																		

										1985414
																														
																																			
																								레오나의 블라인드 테스트
																								
																																												 
											[3]																					
										
											Nadir갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										82
										2
									

																		

										1985413
																														
																																			
																								킹프리 라이브 보니까 여자성우들 너무 대충하는거 아니야?
																								
																																												 
											[1]																					
										
											민경갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										58
										0
									

																		

										1985412
																														
																																			
																								다 어디갔어
																								
																																												 
											[4]																					
										
											유메감게키갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										69
										1
									

																		

										1985411
																														
																																			
																								저랑 아마리오 트윈 코스 하실 분
																								
																																												 
											[4]																					
										
											베루갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										105
										1
									

																		

										1985410
																														
																																			
																								방금 본것
																								
																																												 
											[4]																					
										
											MelticStAr갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										95
										4
									

																		

										1985409
																														
																																			
																								내일 일요일 아니엇나여? C8
																								
																																												 
											[2]																					
										
											ㅇㅇ(118.235)																					
										05.15
										53
										1
									

																		

										1985408
																														
																																			
																								¿¡
																								
																																												 
																																
										
											ㅇㅇ(117.111)																					
										05.15
										54
										3
									

																		

										1985406
																														
																																			
																								아 팔티통 분명 잠근기억이 있어서 생각해봤는데
																								
																																												 
											[3]																					
										
											쿨초코갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										93
										1
									

																		

										1985405
																														
																																			
																								이타백하니 생각난거
																								
																																												 
											[5]																					
										
											ㅁㅇㄹ갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										80
										0
									

																		

										1985403
																														
																																			
																								제우스 성우 라이브 엄청 좋은데?
																								
																																												 
											[1]																					
										
											민경갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										46
										0
									

																		

										1985402
																														
																																			
																								자동자막 개어이없군
																								
																																												 
											[4]																					
										
											MelticStAr갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										93
										3
									

																		

										1985401
																														
																																			
																								라이브 중계 중
																								
																																												 
																																
										
											논국갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										47
										0
									

																		

										1985400
																														
																																			
																								츠무기 웃을줄도 아는거야?
																								
																																												 
											[2]																					
										
											호시카와미츠키갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										78
										0
									

																		

										1985399
																														
																																			
																								어우 스트레스
																								
																																												 
											[4]																					
										
											더블류갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										59
										0
									

																		

										1985398
																														
																																			
																								우월한 유전자야
																								
																																												 
											[4]																					
										
											호시카와미츠키갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										71
										1
									

																		

										1985397
																														
																																			
																								갑옷소녀미짱
																								
																																												 
											[2]																					
										
											우리소예아빠갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										55
										1
									

																		

										1985396
																														
																																			
																								온유 설명ㅋㅋㅋ
																								
																																												 
											[9]																					
										
											베루갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										111
										1
									

																		

										1985395
																														
																																			
																								나야말로 이번주 벌써 술 3번마심
																								
																																												 
											[3]																					
										
											ㅁㅇㄹ갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										41
										0
									

																		

										1985394
																														
																																			
																								창원채널 당일치기 도전 후기
																								
																																												 
											[15]																					
										
											여의나루갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										162
										6
									

																		

										1985393
																														
																																			
																								저런 이타백 좀 멋있어
																								
																																												 
											[3]																					
										
											ㅇㅇ갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										57
										0
									

																		

										1985392
																														
																																			
																								8시부터 중계 시작
																								
																																												 
																																
										
											논국갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										54
										1
									

																		

										1985391
																														
																																			
																								방금 트위터에서 본것
																								
																																												 
											[2]																					
										
											MelticStAr갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										98
										1
									

																		

										1985390
																														
																																			
																								할거 없어서 롤 켜놨다가
																								
																																												 
											[3]																					
										
											모아씹갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										55
										0
									

																		

										1985389
																														
																																			
																								아도파라 프로게이머 근황
																								
																																												 
																																
										
											MelticStAr갤로그로 이동합니다.																					
										05.15
										93
										1
									

																	
							

							
						

						
												

							

                            	
                            	
                            	                            	
                            	                            	
  								                            	
                            

							

																																																										

						

												
						

    						

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                        	핵폭탄에 쓰이는 기폭장치.
                        

                    
                 

                         	

                	
                    	
                        	
                        
                        

                        	난리났던 경유소주 최신 근황
                        

                    
                 

                         	
                         	
                         	
                         	
                         	
                         	
                         	
                         	
                         	
                         	
                         	
                         	
                         	
                         	
                          

             
		

     

  
  
  
  


	

    	

        	
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                        	무인사진관서 머리띠 부러뜨린 아이들…CCTV에 담긴 놀라운 장면
                        

                     
                 

                  		

                	
                    	
                        	
                        
                        

                        	'대통령실 진입시도' 대진연 4명 구속영장, 이번에도 전원 기각